N2-Tunnel
Die Anlage besteht aus je einer Schleusenzone am Ein- und Auslauf, vier Heizzonen und einer Kühlzone. Um eine Atmosphäre mit geringem Sauerstoffanteil zu realisieren, sind bei den möglichen Magazingrößen Schleusen notwendig. Ein dreigeteilter Transport am Ein- und Auslauf gewährleistet, dass die Schotts unabhängig voneinander öffnen und schließen können. In jeder Beladesituation wird auf diese Weise eine inerte Prozesskammer gewährleistet. Mittels Schleusentechnik wird ein niedriges Restsauerstoffniveau im N2-Tunnel garantiert. Schotts vermeiden einen Luftdurchzug.
Transport
Die Magazine werden mit einem sogenannten Hubtransport in den Schleusenzonen umgesetzt. Beim Beladen senkt sich die Transporteinheit mit Hubmotor unter das Niveau des Kammertransports und lädt gleichzeitig das Magazin auf diesen ab. Das Entladen des Magazins funktioniert im umgekehrten Prinzip. Der Prototyp des neuen Magazintrockners verfügt über eine manuelle Be- und Entladung. Die Anlage ist so konzipiert, dass im Bedarfsfall eine Zuführung über ein Handlingsystem möglich ist. Durch den flexiblen Transport lässt sich sowohl ein geringer Durchsatz für die Prototypenfertigung als auch ein hoher Durchsatz bei späterem Linieneinsatz realisieren.
Schott und Dämmung
Durch die 80 mm starke Prozesskammerdämmung und die Schotts wird eine sehr gute thermische Trennung der Prozesskammer von der Umgebung erreicht. Ein Austausch von kalten und warmen Gasströmungen kann so effektiv verhindert werden, was ebenfalls eine geringere elektrische Leistungsaufnahme zur Folge hat.