Túnel de N2
El equipo se compone de una zona de compuertas de entrada y otra de salida, cuatro zonas de calor y una zona de enfriamiento. Para lograr una atmósfera con un bajo contenido en oxígeno, se necesitan compuertas de los posibles tamaños del depósito. Un transporte de tres fases en la salida y entrada garantiza que los mecanismos de apertura se abran y cierren de manera independiente entre sí. De este modo, siempre se garantiza una cámara de procesamiento inerte para todas las situaciones de carga. Con la tecnología de compuertas se logra un nivel reducido de oxígeno residual en el túnel de N2. El mecanismo de apertura evita el paso del aire.
Transporte
Los depósitos se trasladan a las zonas de compuertas con el llamado transporte elevador. Durante la carga, la unidad de transporte desciende con el motor de elevación al nivel del transporte de cámara y, simultáneamente, carga el depósito en este. La descarga del depósito se lleva a cabo revirtiendo este proceso. El prototipo del nuevo secador de depósitos dispone de un sistema de carga y descarga manual. El equipo se ha concebido para que, en caso necesario, sea posible un suministro a través de un sistema de manipulación. Con el transporte flexible se consigue tanto un rendimiento reducido para la producción de prototipos como un rendimiento elevado en la aplicación posterior en línea.
Mecanismo de apertura y aislamiento
Con el aislamiento de 80 mm de grosor de la cámara de procesamiento y los mecanismos de apertura se consigue una buena separación térmica de la cámara de procesamiento del entorno. Así, se evita un intercambio de corrientes de gas frías y calientes, lo que implica un consumo eléctrico reducido.