Der vibrationsarme Transport, egal ob als Geflechtsband, Stiftkette, Kombitransport oder ob als Single Lane oder Dual Lane ausgeführt, wird den hohen Ansprüchen der Halbleiterfertigung gerecht und sorgt für zusätzliche Prozesssicherheit. Ein besonderer Pluspunkt der Anlage ist die flexibel konfigurierbare Kühlstrecke. Hierbei können die Bauteile in den jeweiligen Zonen entweder mit kalter Luft oder mit warmer Luft angeströmt werden. Ebenso ist die Kombination kalt oben/warm unten oder umgekehrt möglich. Dies ermöglicht eine bauteilschonende, stressfreie Kühlung und garantiert flexible Auslauftemperaturen.
Bei der Entwicklung der VisionX Semico standen selbstverständlich auch die Energieeffizienz und Wartungsfreundlichkeit im Fokus. Die Anlage ist mit einer besonders hochwertigen Isolierung versehen, die sowohl den Anforderungen der Reinraumklasse entspricht als auch für höchste Energieeffizienz innerhalb der Prozesskammer sorgt. Für die zuverlässige Reinigung der Prozessluft ist serienmäßig eine Pyrolyse integriert. Diese Pyrolyse sorgt für eine trockene und saubere Prozesskammer sowie die Einhaltung der Abluftvorgaben für Reinraumkonzepte und muss nur ein Mal pro Jahr gewartet werden. Zusätzlich ist in der Kühlstrecke eine Kondensatfalle standardmäßig eingebaut, die die anfallenden kristallinen Residues zuverlässig abscheidet und auch hier für einfache Wartung und verlängerte Wartungszyklen sorgt. Die technische Ausführung der Anlage, gepaart mit einer innovativen, modernen Software, ist ausschlaggebend dafür, dass die VisionX Semico für alle bereits angewendeten oder auch zukünftigen SECS/GEM/Industrie 4.0/MES-Lösungen bestens gerüstet ist.
Mit der VisionX Semico hat Rehm Thermal Systems eine Anlage entwickelt, die optimal für die Fertigung von Bauelementen unter Reinraumbedingungen ausgelegt ist und zeigt wieder einmal, dass Rehm auf allen Gebieten thermischer Systeme zuhause ist.
