El transporte de baja vibración, ya sea en forma de correa trenzada, cadena de clavijas, transporte combinado o vía simple o doble, satisface las altas exigencias de la producción de semiconductores y garantiza una mayor fiabilidad del proceso. Una ventaja particular del sistema es la sección de enfriamiento flexiblemente configurable. Aquí, los componentes de las zonas respectivas pueden ser suministrados con aire frío o caliente. También es posible la combinación de aire frío en la parte superior y aire caliente en la parte inferior o viceversa. Esto permite un enfriamiento sin estrés que es suave con los componentes y garantiza temperaturas de salida flexibles.
Durante el desarrollo del VisionX Semico, el enfoque fue naturalmente también en la eficiencia energética y la facilidad de mantenimiento. El sistema está equipado con un aislamiento de alta calidad, que cumple con los requisitos de la clase de sala limpia y asegura la máxima eficiencia energética dentro de la cámara de proceso. Un sistema de pirólisis está integrado como estándar para una limpieza fiable del aire de proceso. Esta pirólisis asegura una cámara de proceso seca y limpia, así como el cumplimiento de las especificaciones de aire de escape para los conceptos de sala limpia y sólo requiere mantenimiento una vez al año. Además, en la sección de enfriamiento se instala de forma estándar una trampa de condensado, que separa de forma fiable los residuos cristalinos producidos y también asegura aquí un mantenimiento sencillo y ciclos de mantenimiento prolongados. El diseño técnico del sistema, junto con un software innovador y moderno, es decisivo para asegurar que el VisionX Semico esté idealmente equipado para todas las soluciones SECS/GEM/Industria 4.0/MES que ya están en uso o lo estarán en el futuro.
Con el VisionX Semico, Rehm Thermal Systems ha desarrollado un sistema que está óptimamente diseñado para la producción de componentes en condiciones de sala limpia y muestra una vez más que Rehm está en casa en todas las áreas de los sistemas térmicos.
